等离子光氧一体机工作原理：在油雾、废气和其他污染介质中，利用低温等离子体分解，等离子体中高能量离子起决定作用。纳秒级时间范围内，释放物和臭气通过等离子电场区，产生了流星雨状的高能离子与分子之间的非弹性碰撞。电浆会猛烈轰击废气、臭味等污染物分子，产生裂变分解反应，把能量转换为基态分子(原子)的内能，产生激发，如解离、离化等一系列过程，使污染介质处于活跃状态。

  在等离子光氧一体机的作用下，污染物介质会产生高浓度、高强、高能电子、高能电子、高能离子等活性自由基，同时产生大量臭氧、氧、原子氧、生态氧等混合气体，进行一系列复杂的分异裂解和氧化还原反应。(主电子通过电场增加了速度，冲击空气中的氧分子。氧分子在能量超过氧分子的电离势后迅速离子化。氧分子失去电子，变成正氧(O2+)，释放出的电子与另一种中性氧分子结合，在氧离子极化后，转变为负极养离子，吸附中性氧分子，生成O2+、O2-，一种由氧气等氧形成的离子，从空气的净化效率来看，空气中的有害成分可以在短时间内分解成无害的产物和水。

  选用电晕电流增高器，采用电晕放电低温等离子体与吸附技术相结合的原理。等离子光氧一体机主要用来脱除有害气体，脱除H2S，氨，苯，二甲苯，甲醛，丙酮，尿烷，树脂，气体消毒灭菌：这种吸附剂主要用来去除二氧化碳和臭氧的副产物。该装置包括初滤室、低温等离子发生器、滤网、风扇等部分。